第六十九章 巨額訂單
檢測(cè)室內(nèi),神光1X射線光刻機(jī)正在運(yùn)轉(zhuǎn)著,一群工作人員依舊在孜孜不倦的測(cè)試和調(diào)整。
作為中芯國際的首席技術(shù)執(zhí)行,官李偉光技術(shù)水平還可以,他兩眼放光盯著眼前的龐然大物,這是多么美妙的工業(yè)之花。
李偉光心想,希望這臺(tái)光刻機(jī)是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。
高致遠(yuǎn)指著光刻機(jī)介紹道:“大家眼前的這臺(tái)光刻機(jī),就是我們神光儀器研發(fā)神光1X射線光刻機(jī),具體技術(shù)指標(biāo),想必大家已經(jīng)有所了解了?!?p> 李偉光、趙軍等人當(dāng)然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射線光刻機(jī)的技術(shù)指標(biāo),他們半路上已經(jīng)研究過。
“高總,貴方的光刻機(jī)精度真的可以達(dá)到10~7納米?”李偉光急促的問道。
“我知道大家非常懷疑,一旁有八寸硅片,中芯國際應(yīng)該有帶技術(shù)員過來吧?”
李偉光點(diǎn)了點(diǎn)頭。
高致遠(yuǎn)指著一側(cè)的庫房繼續(xù)說道:“你們可以派人拿著硅片,和我們的員工一起進(jìn)行光刻測(cè)試?!?p> “那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉(zhuǎn)過頭向中芯國際的人吩咐道:“張工、李工,麻煩你們了。”
倆中年技術(shù)員麻利動(dòng)手,他們借助工具小心翼翼的將硅片取出。
這些硅片不僅僅價(jià)格昂貴,而且非常脆弱,別說摔地上了,哪怕是空氣最好也別直接接觸,因?yàn)檎慈旧匣覊m會(huì)非常麻煩。
將兩片硅片送入專門的清潔設(shè)備之中,然后涂抹光刻膠,將光刻膠攤平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻膠。
其中的工序非常繁雜,也不能有一絲失誤,這不僅僅考驗(yàn)機(jī)器設(shè)備,也考驗(yàn)技術(shù)員的水平。
要是其中一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)失誤,不僅白忙活了半天,硅片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費(fèi)了,這些都是真金白銀。
怪不得說科研就是在燒錢。
一個(gè)多小時(shí)過去,終于到了硅片光刻的步驟,一塊八寸硅片被光刻機(jī)的自動(dòng)化設(shè)備送入其中。
為了避免影響光刻效果,李工通過一個(gè)小窗口的透鏡觀察了硅片一會(huì),便將小窗口關(guān)閉,讓光刻室形成一個(gè)暗箱。
張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板(電路圖母板),隨便挑選了其中一個(gè)模板,輸入尺寸調(diào)整。
因?yàn)椴煌男酒娐穲D,需要的面積不一樣,因此一塊硅片可以刻出多少顆芯片,是要根據(jù)實(shí)際情況來調(diào)整的。
工作人員們都是用簡(jiǎn)單的手勢(shì)來交流著,在這種高精密的設(shè)備周圍,哪怕是說話大聲一點(diǎn),都可能影響到光刻結(jié)果。
光刻開始。
大約16秒左右,被光刻完成的硅片便出現(xiàn)另一側(cè)的出口。
然后又快速加工了第二塊硅片,同樣是16秒左右出來。
在檢測(cè)室外面的趙軍、李偉光、方龍等人,都緊緊盯著那兩塊光刻完成的硅片。
張工和李工用特制的設(shè)備,一人負(fù)責(zé)一塊硅片,轉(zhuǎn)移到隔壁的電鏡檢測(cè)室里面。
電子顯微鏡下,硅片上的電路圖紋路和模板一模一樣,唯一區(qū)別就是尺寸。
“竟然真的可以做到7納米,不可思議?!崩罟た粗娮语@微鏡驚嘆道。
“不僅僅如此,X射線光刻出來的紋路非常整齊細(xì)膩,真是一個(gè)杰作?!睆埞ぱa(bǔ)充道。
倆人對(duì)于兩塊硅片進(jìn)行了非常全面的檢測(cè),最后生成兩份檢測(cè)報(bào)告。
在外面干著急的李偉光,看到倆人走出來,迫不及待的上前問道:“結(jié)果如何?”
中芯國際和海思眾人緊張又期待的看著倆人,希望是好消息,而不是壞消息。
“李總,神光1X射線光刻機(jī)的精度確實(shí)達(dá)到了10~7納米,甚至比阿斯麥的極紫外光效果更加好。”張工解釋道。
呼!眾人長出一口氣。
李工將兩份檢測(cè)報(bào)告遞給李偉光:“這是具體檢測(cè)報(bào)告。”
中芯國際的眾人連忙傳閱起來。
看完詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告之后,趙軍和李偉光呼吸都重了起來,這個(gè)神光1X射線光刻機(jī)比阿斯麥的頂級(jí)光刻機(jī)還更強(qiáng)一絲。
至少目前阿斯麥公司的頂級(jí)光刻機(jī),在面對(duì)7納米芯片時(shí)顯得有些力不從心,而神光1X射線光刻機(jī)卻游刃有余。
如果他們知道黃明哲故意限制精度,就會(huì)明白為什么會(huì)游刃有余了。
“高總,我以一個(gè)華國芯片人的身份,向你們致敬?!崩顐ス饧?dòng)不已的說道。
作為一個(gè)華國芯片人,他們活得太憋屈了,國內(nèi)外的種種壓力,幾乎讓壓得他們喘不過氣了。
而神光1X射線光刻機(jī)的出現(xiàn),讓李偉光等人感到了揚(yáng)眉吐氣,終于不需要忍受那些鳥人的冷嘲熱諷。
“我們不敢居功,其實(shí)這臺(tái)光刻機(jī)可以誕生,社長要占90%的功勞?!备咧逻h(yuǎn)說得一點(diǎn)都不夸張。
X射線光刻機(jī)的方向是黃明哲選擇的,兩個(gè)關(guān)鍵性材料來源于光敏材料規(guī)律模型,全套軟件系統(tǒng)和黃明哲息息相關(guān)。
另外還有思維社掌握的仿真空間技術(shù)、有限元逆分析技術(shù),促進(jìn)了神光儀器公司在整合和改進(jìn)方面的實(shí)力。
盡管中芯國際和海思眾人都感到非常意外,但是在場(chǎng)的神光儀器研究員或者員工,都一臉認(rèn)同高致遠(yuǎn)的話,這種事情趙軍他們沒有打破沙鍋問到底的想法。
“高總,不知神光1X射線光刻機(jī)的售價(jià)是多少?”趙軍連忙問道。
“15億一臺(tái)?!?p> 咕嚕!趙軍盡管已經(jīng)有預(yù)料到神光1X射線光刻機(jī)的價(jià)格會(huì)非常高,沒有想到竟然高到15億。
當(dāng)然價(jià)格高也是情有可原,神光儀器的研發(fā)經(jīng)費(fèi)總是要賺回來的,做生意就沒有人想虧本。
不過隨即他便放松下來,因?yàn)橘徺I神光1X射線光刻機(jī)是有補(bǔ)貼的,國家給的補(bǔ)貼高達(dá)40%。
也就是說,神光1X射線光刻機(jī)15億一臺(tái),補(bǔ)貼之后是9億一臺(tái)。
不過這個(gè)補(bǔ)貼政策暫時(shí)只有兩年,而且必須是華國企業(yè)才可以拿到,另外每一臺(tái)光刻機(jī)都會(huì)被登記在案,不得隨意轉(zhuǎn)讓。
另外補(bǔ)貼不是直接給錢,而是企業(yè)在向神光儀器全額購買之后,國家會(huì)以減免稅收的方式,抵消掉這一部分的補(bǔ)貼。
趙軍和李偉光小聲的討論了一會(huì),最后和神光儀器達(dá)成協(xié)議,中芯國際向神光儀器預(yù)訂了10臺(tái)神光1X射線光刻機(jī),合同分兩年執(zhí)行。
這個(gè)合同高達(dá)150億,而今年的5臺(tái),就是75億訂單,神光儀器的要求是50%的定金。
而且訂單一下,無論購買企業(yè)要不要光刻機(jī),神光儀器概不退款,如果無故取消訂單,不僅僅定金不退,還會(huì)被納入思維社的黑名單。
作為一個(gè)上市公司,中芯國際立馬公布了向神光儀器預(yù)訂了10臺(tái)神光1X射線光刻機(jī)的消息。
這個(gè)巨額訂單不僅僅砸暈了全世界,更是刺激得中芯國際的股票暴漲,當(dāng)天股價(jià)飆升16%。

嶺南仨人
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